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課程名稱 |
超微細加工
ULTRA MICROMACHINING |
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開課學期 |
95-2 |
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授課對象 |
學程 光機電系統學程 |
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授課教師 |
蔡曜陽 |
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課號 |
ME5209 |
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課程識別碼 |
522 U4910 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期四6,7,8(13:20~16:20) |
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上課地點 |
應107 |
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備註 |
總人數上限：35人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/952micro |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
去實現微機構(micro mechanism)與高密度情報通信裝置(device)等的微技術(micro-
techanology)可說是此新世紀最熱門的話題。要達到微細加工的條件不僅是加工單位需微
小、機械精度要求高，且其加工的原理與過去的傳統加工完全不一樣；乃是利用新的物理
與化學程序去達成的，可說是一門新技術的分野。
本課程的設計乃是以機械系的角度去介紹各種微細加工的特色，以及微機械的開發應用；
學習目標不只在學生對微細加工有更深的認識、也期待能了解新技術的建立原理。
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課程目標 |
1.使學生更深入認識各種微細加工技術的形成及其建構的原理
2.使學生比較各種微細加工技術的特長與未來的發展 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
1.Fundamentals of Microfabrication ( 2nd ed.) M.J. Madou CRC Press (高立）
2.Micromachining of Engineering Materials J. McGeough Marcel Dekker
3.An Introduction to Microelectromechanical System Engineering N. Maluf
4.マイクロ加工の物理と応用 吉田善一 株式会社裳華坊
5.マイクロ応用加工 木本康雄 等 共立出版株式会社
6.微細加工のはなし 高梨明紘 日刊工業新聞社
7.超微細加工技術 応用物理学会�徳山 編著 オーム社
8.マイクロマシン開発ノートブック 藤正・中島 等 株式会社秀潤社
9.マイクロマシ－ニングとマイクロメカトロニクス 江刺・藤田 等 培風館
10.微機械加工概論 楊錫杭 著 全華科技圖書公司
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
期末報告 |
45% |
本文取材35%
附錄佔10% |
2. |
期中作業 |
40% |
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3. |
課堂表現 |
5% |
額外加分
(含點名及上課表現) |
4. |
期初作業 |
15% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
3/1 |
課程簡介 |
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第2週 |
3/8 |
微細加工導論 |
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第3週 |
3/15 |
微細放電加工及其應用 |
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第4週 |
3/22 |
微細放電加工及其應用 |
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第5週 |
3/29 |
微細銑削加工及微鑽孔 |
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第6週 |
4/5 |
Holiday |
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第7週 |
4/12 |
超音波輔助振動微切削 |
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第8週 |
4/19 |
鑽石刀具微切削與磨粒加工 |
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第9週 |
4/26 |
超精密奈米鏡面加工 |
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第10週 |
5/3 |
奈米級粉體材料之研磨 |
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第11週 |
5/10 |
高密度能量束之微細加工 |
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第12週 |
5/17 |
高密度能量束之微細加工 |
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第13週 |
5/24 |
晶圓的微細加工技術(微影蝕刻) |
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第14週 |
5/31 |
介面反應之微細加工 |
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第15週 |
6/7 |
微電鑄與LIGA |
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第16週 |
6/14 |
微射出成形&奈米探針的加工與應用 |
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第17週 |
6/21 |
期末考專題口頭發表 |